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多孔径扫描波面恢复技术的精度评定及影响因素
程维明 林有略 陈明仪 
作者单位
摘要
上海科技大学应用光学与检测实验室, 上海 201800
多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对影响精度的两个重要因素即拼接模式及拼接区大小进行分析.
多孔径扫描 波面恢复 大孔径面形检测 
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光学学报
1993, 13(8): 711
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