光电工程, 2010, 37 (2): 74, 网络出版: 2010-05-28
标准硅球直径测量中的光路对准
Beam Alignment for Diameter Measurement of the Single Crystal Silicon Sphere
基本信息
| DOI: | 10.3969/j.issn.1003-501x.2010.02.014 |
| 中图分类号: | TB921;TH741.1 |
| 栏目: | 光电测量 |
| 项目基金: | 国家科技支撑计划资助项目(2006BAF06B06). |
| 收稿日期: | 2009-07-28 |
| 修改稿日期: | 2009-09-15 |
| 网络出版日期: | 2010-05-28 |
| 通讯作者: | 康岩辉 (yanhuikang@163.com) |
| 备注: | -- |
康岩辉, 邾继贵, 罗志勇, 叶声华. 标准硅球直径测量中的光路对准[J]. 光电工程, 2010, 37(2): 74. KANG Yan-hui, ZHU Ji-gui, LUO Zhi-yong, YE Sheng-hua. Beam Alignment for Diameter Measurement of the Single Crystal Silicon Sphere[J]. Opto-Electronic Engineering, 2010, 37(2): 74.
PDF全文
