标准硅球直径测量中的光路对准 | 光电工程 -- 中国光学期刊网

光电工程, 2010, 37 (2): 74, 网络出版: 2010-05-28

标准硅球直径测量中的光路对准

Beam Alignment for Diameter Measurement of the Single Crystal Silicon Sphere

康岩辉 ^1,*邾继贵 ¹罗志勇 ²叶声华 ¹

作者单位

¹ 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072

² 中国计量科学研究院,北京 100013

光学测量直径测量干涉环椭圆度激光光束对准 optical measurement diameter measurement interference ring ellipticity laser beam alignment

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