基于标准CMOS工艺的非接触式保护环单光子雪崩二极管 | 光子学报 -- 中国光学期刊网

光子学报, 2018, 47 (1): 0125001, 网络出版: 2018-01-30

基于标准CMOS工艺的非接触式保护环单光子雪崩二极管

Single Photon Avalanche Diode with Non-contact Guard Ring Based on CMOS Technology

吴佳骏 ^1,*谢生 ¹毛陆虹 ²朱帅宇 ¹

作者单位

¹ 天津大学微电子学院天津市成像与感知微电子技术重点实验室, 天津 300072

² 天津大学电气自动化与信息工程学院, 天津 300072

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