中国激光, 2017, 44 (3): 0303004, 网络出版: 2017-03-08
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响
Impact of Carbon Contamination Cleaning Technologies on Reflectivity of Extreme Ultraviolet Lithography Optics
薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 thin films extreme ultraviolet lithography carbon contamination cleaning technology reflectivity
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