针对船舱内各种复杂空间的作业环境需求，利用激光清洗技术对船用钢材EH36表面的漆层、锈蚀、油污开展工艺试验研究。首先研究激光功率、重复频率、脉冲宽度工艺参数组合对表面形貌的影响，揭示不同参数对表面剥离程度与粗糙度的影响，同时需要避免产生表面裂纹。其次，设计单因素试验获得漆、锈、油污的最佳清洗工艺窗口，漆、油污可以通过一次激光扫描除去，锈蚀需要清洗两次。通过对比清洗前后的基材表面元素含量分布以及微观形貌变化，结果表明，激光清洗后表面污染物有关的元素C、N、O均大幅降低，锈蚀、油污能够被完全去除，而漆层存在少量细小片状残留。最后对清洗后的基材进行了力学性能测试，发现表层硬度有所提升，除锈样提升约20 HV，除油样提升约3 HV，除漆样提升约13 HV；激光清洗对基材的抗拉、弯曲性能没有明显影响。因此，船用钢的激光清洗过程是可靠且无损的。

激光清洗是利用激光高能量特点去除基体表面附着物的表面工程技术，逐渐在微电子、模具、建筑和航空航天等领域示范应用。石化作为国民经济的支柱产业，却鲜有激光清洗技术应用的报道。本文介绍了石化领域清洗需求和技术现状，发现现有技术不能完全满足石化行业发展新要求，综述了近年来国内外激光清洗技术的发展，其为激光清洗在石化领域的应用提供了理论基础和思路参考，分析了激光清洗技术在石化领域的应用场合，并浅析了具体的研究方向及应用前景。

为了探索激光清洗技术用于汽车板镀层材料焊前预处理的可行性及其工艺参数对焊缝质量的影响规律，为工业生产提供一定的参考，在镀Al-Si涂层试样件表面进行激光清洗预处理，并采用单激光自熔焊对接，通过对比激光清洗前后试样件的拉伸强度、焊缝表面形貌组织和杯突。研究结果表明，采用激光清洗可有效地清洗汽车板镀层，参数为激光功率P＝50 W，清洗速度S＝1～4 m/min，清洗次数N＝2。激光清洗涂层保存20～21 μm时自熔焊缝强度较高，可达母材强度的94%左右。激光清洗的生产效率较高，清洗速度可达4 min/件。

激光清洗技术采用短脉冲激光对材料表面进行快速清洁,在工业制造、生产和维修等领域具有广泛的应用前景。介绍了激光烧蚀清洗、液膜辅助式激光清洗和激光冲击波式清洗三种典型的激光清洗方法,并综述了激光清洗技术的国内外研究现状。根据清洗材料本身的特点,列举了激光清洗技术的典型应用,并展望了其在国内制造业的发展方向。

针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中，多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究，讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程，简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。然后从清洗机理、速率以及效果等方面详细描述了多种EUV多层膜表面碳污染清洗方法，分析对比了各清洗技术在清洗速率和效果等方面的优缺点。分析表明: 离子体氧和活化氧清洗速率相差不多，可达到2 nm/min，但清洗过程中容易造成表面氧化; 等离子体氢和原子氢的清洗速率相对较慢，一般在0.37 nm/min左右，但清洗过程中不易产生氧化。最后针对不同方法应用于在线清洗EUV多层膜反射镜过程中将遇到的问题和难点进行了讨论。

极紫外光刻系统中的碳污染会降低多层膜反射率，在保证光学元件性能的前提下，如何选择碳清洗工艺是一项重要课题。通过对不同清洗工艺的原理分析，揭示了不同工艺对多层膜反射率的影响主要体现在膜层氧化、刻蚀及表面粗糙度劣化等方面。基于时域有限差分方法及总积分散射理论，研究了不同影响因素与多层膜反射率的关系。结果表明，膜层氧化及表面粗糙度劣化是导致多层膜反射率下降的主要因素，而刻蚀的影响相对较小。基于以上分析结果，射频氢等离子体及原子氢清洗技术，在去除光学元件表面沉积碳的同时，不会显著降低光学元件性能，可优先考虑采用。

在制造业，特别是在航空制造业中，各种产品零件在装配前需要进行认真仔细的去脂除污处理，传统的清洗方法有很多种。随着环境保护、高精度以及高效率的矛盾日显突出，各种有利于环境保护、适合于超精加工领域零件的清洗技术应运而生，激光清洗技术就是其中之一。介绍了激光清洗技术的原理和方法，研究了利用脉冲Nd:YAG激光清洗被污零件的情况，对研究结果进行了讨论。并对激光清洗技术的应用前景进行了展望。