点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

代晓珂; 金春水; 于杰

doi:doi:10.3788/co.20140705.0855

中国光学, 2014, 7 (5): 855, 网络出版: 2014-10-23

点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer

代晓珂 ^1,2,*金春水 ¹于杰 ¹

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033

² 中国科学院大学，北京 100049

引用该论文

代晓珂, 金春水, 于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学, 2014, 7(5): 855.

DAI Xiao-ke, JIN Chun-shui, Yu Jie. Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer[J]. Chinese Optics, 2014, 7(5): 855.

引用列表

1、点衍射干涉检测技术中国光学, 2017, 10 (4): 391

2、使用区域重构技术的路径无关相位解包方法红外与激光工程, 2016, 45 (2): 229006

3、微缩投影系统的垂轴放大率测量光学精密工程, 2016, 24 (1): 1

代晓珂, 金春水, 于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学, 2014, 7(5): 855. DAI Xiao-ke, JIN Chun-shui, Yu Jie. Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer[J]. Chinese Optics, 2014, 7(5): 855.

点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

相关论文

相关资讯

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索