中国光学, 2014, 7 (5): 855, 网络出版: 2014-10-23
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析
Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer
基本信息
DOI: | 10.3788/co.20140705.0855 |
中图分类号: | O436.1 |
栏目: | 光学仪器与测试 |
项目基金: | 应用光学国家重点实验室基金资助项目(No.09Q03FQM90) |
收稿日期: | 2014-06-12 |
修改稿日期: | 2014-08-14 |
网络出版日期: | 2014-10-23 |
通讯作者: | 代晓珂 (daixk1989@163.com) |
备注: | -- |
代晓珂, 金春水, 于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学, 2014, 7(5): 855. DAI Xiao-ke, JIN Chun-shui, Yu Jie. Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer[J]. Chinese Optics, 2014, 7(5): 855.