中国光学, 2014, 7 (5): 855, 网络出版: 2014-10-23   

点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer
作者单位
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
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代晓珂, 金春水, 于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学, 2014, 7(5): 855. DAI Xiao-ke, JIN Chun-shui, Yu Jie. Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer[J]. Chinese Optics, 2014, 7(5): 855.

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