半导体光电, 2019, 40 (5): 643, 网络出版: 2019-11-05
SiNx/SiOxNy叠层结构防潮能力的研究
Research on Moisture Barrier Property of SiNx/SiOxNy Stacks Structure
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许海飞, 喻志农, 程锦, 栗旭阳, 陈永华, 李言, 薛建设. SiNx/SiOxNy叠层结构防潮能力的研究[J]. 半导体光电, 2019, 40(5): 643. XU Haifei, YU Zhinong, CHENG Jin, LI Xuyang, CHEN Yonghua, LI Yan, XUE Jianshe. Research on Moisture Barrier Property of SiNx/SiOxNy Stacks Structure[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2019, 40(5): 643.
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