激光与光电子学进展, 2017, 54 (6): 060501, 网络出版: 2017-06-08
斜入射微结构高度误差的优化设计
Optimal Design of Depth-Scaling Error with Oblique Incidence
衍射 衍射光学元件 衍射效率 微结构高度误差 diffraction diffractive optical elements diffraction efficiency micro-structure height error
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