基于动态适应度函数的光源掩模优化方法 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2016, 36 (1): 0111006, 网络出版: 2015-12-25

基于动态适应度函数的光源掩模优化方法

Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function

杨朝兴 ^1,2,*李思坤 ^1,2王向朝 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

² 中国科学院大学, 北京 100049

引用该论文

杨朝兴, 李思坤, 王向朝. 基于动态适应度函数的光源掩模优化方法[J]. 光学学报, 2016, 36(1): 0111006.

Yang Chaoxing, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(1): 0111006.

引用列表

1、光源掩模联合优化技术研究激光与光电子学进展, 2022, 59 (9): 0922010

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5、基于非正交二元相位板的多焦点阵列光镊光学学报, 2019, 39 (7): 0714003

6、基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法光学学报, 2016, 36 (8): 811001

杨朝兴, 李思坤, 王向朝. 基于动态适应度函数的光源掩模优化方法[J]. 光学学报, 2016, 36(1): 0111006. Yang Chaoxing, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(1): 0111006.

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