光学学报, 2016, 36 (1): 0111006, 网络出版: 2015-12-25
基于动态适应度函数的光源掩模优化方法
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function
基本信息
DOI: | 10.3788/aos201636.0111006 |
中图分类号: | TN305.7 |
栏目: | 成像系统 |
项目基金: | 国家自然科学基金(61275207,61205102) |
收稿日期: | 2015-06-11 |
修改稿日期: | 2015-09-02 |
网络出版日期: | 2015-12-25 |
通讯作者: | 杨朝兴 (yangcoloy@siom.ac.cn) |
备注: | -- |
杨朝兴, 李思坤, 王向朝. 基于动态适应度函数的光源掩模优化方法[J]. 光学学报, 2016, 36(1): 0111006. Yang Chaoxing, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(1): 0111006.