光学学报, 2016, 36 (1): 0111006, 网络出版: 2015-12-25
基于动态适应度函数的光源掩模优化方法
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function
补充材料
杨朝兴, 李思坤, 王向朝. 基于动态适应度函数的光源掩模优化方法[J]. 光学学报, 2016, 36(1): 0111006. Yang Chaoxing, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(1): 0111006.