半导体光电, 2017, 38 (6): 806, 网络出版: 2017-12-25
考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器
High Sensitivity Micro Pressure Sensor Considering the Effects of Temperature
基本信息
| DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2017.06.008 |
| 中图分类号: | O472 |
| 栏目: | 光电器件 |
| 项目基金: | 江苏省自然科学基金项目(BK20160909, 20130874)；江苏省研究生创新项目(YLX_0801, SJLX15_0376)；江苏省高校教育基金项目(JB510025)；南京邮电大学校内项目(NY214051, 215084). |
| 收稿日期: | 2017-04-17 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2017-12-25 |
| 通讯作者: | 乔晶 (617628232@qq.com) |
| 备注: | -- |
乔晶, 陈德媛, 段亚丽, 梁吴燕, 谷云斌. 考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器[J]. 半导体光电, 2017, 38(6): 806. QIAO Jing, CHEN Deyuan, DUAN Yali, LIANG Wuyan, GU Yunbin. High Sensitivity Micro Pressure Sensor Considering the Effects of Temperature[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2017, 38(6): 806.
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