考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器

乔晶; 陈德媛; 段亚丽; 梁吴燕; 谷云斌

doi:doi:10.16818/j.issn1001-5868.2017.06.008

半导体光电, 2017, 38 (6): 806, 网络出版: 2017-12-25

考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器

High Sensitivity Micro Pressure Sensor Considering the Effects of Temperature

乔晶 ^*陈德媛段亚丽梁吴燕谷云斌

作者单位

南京邮电大学电子科学与工程学院, 南京 210046

补充材料

乔晶, 陈德媛, 段亚丽, 梁吴燕, 谷云斌. 考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器[J]. 半导体光电, 2017, 38(6): 806. QIAO Jing, CHEN Deyuan, DUAN Yali, LIANG Wuyan, GU Yunbin. High Sensitivity Micro Pressure Sensor Considering the Effects of Temperature[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2017, 38(6): 806.