点衍射干涉仪系统误差标定

许嘉俊; 邢廷文; 徐富超

doi:doi:10.3788/aos201333.0712003

光学学报, 2013, 33 (7): 0712003, 网络出版: 2013-06-08

点衍射干涉仪系统误差标定

Calibration of the System Errors in Pinhole Diffracted Interferometer

许嘉俊 ^1,2,*邢廷文 ¹徐富超 ¹

作者单位

¹ 中国科学院光电技术研究所应用光学实验室, 四川成都 610209

² 中国科学院大学, 北京 100049

图 & 表

许嘉俊, 邢廷文, 徐富超. 点衍射干涉仪系统误差标定[J]. 光学学报, 2013, 33(7): 0712003. Xu Jiajun, Xing Tingwen, Xu Fuchao. Calibration of the System Errors in Pinhole Diffracted Interferometer[J]. Acta Optica Sinica, 2013, 33(7): 0712003.