1 中国科学院光电技术研究所应用光学实验室, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪，其参考波由一定尺寸针孔衍射产生，因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制，使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点，主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构，降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置，去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统，在针孔直径为3 μm时，系统误差为0.009λ。
测量 光学检测 点衍射干涉仪 双孔干涉 误差标定
1 中国科学院光电技术研究所， 四川 成都 610209
2 中国科学院研究生院， 北京 100049
移相干涉技术是高精度面形检测的主要手段之一，但当图像中含有大噪声和大块无效区域时，解包却是一个难题。将噪声点分为残差点和不连续点，对残差点采用三点邻域的组合对其进行判定，对不连续点在解包前后进行两次标记，并在解包后利用邻域有效点的均值来复原噪声点，从而改进和完善了种子点解包算法。仿真结果表明,改进后的算法有较强的噪声抑制能力，有效解决了在大噪声、大块无效区域情况下图像的相位解包问题，且解包出来的图像中不再含有大的噪声，可用均值滤波进行平滑处理。
光学检测 相位解包 移相干涉 噪声处理 残差点 激光与光电子学进展
2011, 48(1): 011001
