1 中国科学院光电技术研究所应用光学实验室, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪，其参考波由一定尺寸针孔衍射产生，因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制，使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点，主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构，降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置，去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统，在针孔直径为3 μm时，系统误差为0.009λ。
测量 光学检测 点衍射干涉仪 双孔干涉 误差标定
1 中国科学院光电技术研究所应用光学实验室, 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
干涉仪是光学元件面形加工中必不可少的检测设备, 其检测精度限制了光学面形的加工精度。点衍射干涉仪利用亚微米量级的针孔衍射产生参考波, 理论上的检测精度能够达到纳米及纳米以下。基于有限元方法, 计算了 300～400 nm直径针孔, 在膜层厚度 300 nm时, 存在不同形状误差时, 衍射参考波前与理想波面的偏差。同时, 针孔形状误差引入的衍射参考波前像差也进行了分析。针孔椭圆截面长轴为 380 nm, 短轴为 320 nm时, 衍射波面误差约为 0.9e-3 λ。
光学检测 点衍射干涉仪 矢量衍射 波前分析 optical testing point diffraction interferometer vector diffraction wave-front analysis
1 中国科学院光电技术研究所应用光学实验室, 四川 成都 610209
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
现代精密光学系统的发展，对光学元件的加工和检测提出了非常严格的要求，达到纳米量级。相移式点衍射干涉仪是一种应用在纳米精度检测中的常用干涉仪，其参考波前由直径在几百纳米量级的小孔衍射产生，其衍射波前与理想波面的误差，决定了干涉仪的检测精度。基于有限元方法，计算了聚焦入射情况下，不同直径小孔的衍射波面。分析了聚焦斑发生对准误差和倾斜误差下，对衍射波面的影响。
物理光学 光学检测 点衍射干涉仪 矢量衍射 波前分析 光学学报
2011, 31(12): 1205003
