中国激光, 2016, 43 (5): 0508005, 网络出版: 2016-05-04   

基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析

Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
引用该论文

卢禹先, 齐向东, 于海利, 李晓天, 张善文, 姜珊, 尹禄. 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析[J]. 中国激光, 2016, 43(5): 0508005.

Lu Yuxian, Qi Xiangdong, Yu Haili, Li Xiaotian, Zhang Shanwen, Jiang Shan, Yin Lu. Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(5): 0508005.

引用列表
1、 基于干涉法的反射式光栅旋转角度检测方法激光与光电子学进展, 2019, 56 (11): 110501
3、 拼接光栅五自由度并联定位机构设计中国激光, 2018, 45 (1): 104005

卢禹先, 齐向东, 于海利, 李晓天, 张善文, 姜珊, 尹禄. 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析[J]. 中国激光, 2016, 43(5): 0508005. Lu Yuxian, Qi Xiangdong, Yu Haili, Li Xiaotian, Zhang Shanwen, Jiang Shan, Yin Lu. Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(5): 0508005.

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