中国激光, 2016, 43 (5): 0508005, 网络出版: 2016-05-04
基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析
Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer
基本信息
DOI: | 10.3788/cjl201643.0508005 |
中图分类号: | O436.1 |
栏目: | 测量与计量 |
项目基金: | 国家重大科研装备研制项目(ZDYZ2008-1)、国家自然科学基金项目(61505204)、国家973计划(2014CB049500)、吉林省重大科技发展项目(20140203011GX) |
收稿日期: | 2015-10-21 |
修改稿日期: | 2016-01-21 |
网络出版日期: | 2016-05-04 |
通讯作者: | 卢禹先 (hongyulu0412@hotmail.com) |
备注: | -- |
卢禹先, 齐向东, 于海利, 李晓天, 张善文, 姜珊, 尹禄. 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析[J]. 中国激光, 2016, 43(5): 0508005. Lu Yuxian, Qi Xiangdong, Yu Haili, Li Xiaotian, Zhang Shanwen, Jiang Shan, Yin Lu. Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(5): 0508005.