中国激光, 2016, 43 (5): 0508005, 网络出版: 2016-05-04   

基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析

Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
基本信息
DOI: 10.3788/cjl201643.0508005
中图分类号: O436.1
栏目: 测量与计量
项目基金: 国家重大科研装备研制项目(ZDYZ2008-1)、国家自然科学基金项目(61505204)、国家973计划(2014CB049500)、吉林省重大科技发展项目(20140203011GX)
收稿日期: 2015-10-21
修改稿日期: 2016-01-21
网络出版日期: 2016-05-04
通讯作者: 卢禹先 (hongyulu0412@hotmail.com)
备注: --

卢禹先, 齐向东, 于海利, 李晓天, 张善文, 姜珊, 尹禄. 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析[J]. 中国激光, 2016, 43(5): 0508005. Lu Yuxian, Qi Xiangdong, Yu Haili, Li Xiaotian, Zhang Shanwen, Jiang Shan, Yin Lu. Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(5): 0508005.

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