基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 | 中国激光 -- 中国光学期刊网

中国激光, 2016, 43 (5): 0508005, 网络出版: 2016-05-04

基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析

Precision Analysis of Grating Replicated Mosaic Error Based on the Principle of Fraunhofer

卢禹先 ^1,2,*齐向东 ¹于海利 ¹李晓天 ¹张善文 ¹姜珊 ¹尹禄 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033

² 中国科学院大学, 北京 100049

衍射拼接精度夫琅禾费原理复制拼接技术 diffraction mosaic precision principle of Fraunhofer replicated mosaic technology

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