激光与光电子学进展, 2020, 57 (11): 111430, 网络出版: 2020-06-02
飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器研究进展 
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Research Progress on Hyperdoped Silicon Photodetectors Fabricated by Femtosecond Laser
基本信息
| DOI: | 10.3788/LOP57.111430 |
| 中图分类号: | O474; O482 |
| 栏目: | 激光器与激光光学 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金、高等学校学科创新引智计划、长江学者和创新团队发展计划（IRT_13R29） |
| 收稿日期: | 2020-04-09 |
| 修改稿日期: | 2020-04-26 |
| 网络出版日期: | 2020-06-02 |
| 通讯作者: | 吴强 (wuqiang@nankai.edu.cn) |
| 备注: | -- |
进晓荣, 吴强, 黄松, 贾子熙, 宋冠廷, 周旭, 姚江宏, 许京军. 飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(11): 111430. Xiaorong Jin, Qiang Wu, Song Huang, Zixi Jia, Guanting Song, Xu Zhou, Jianghong Yao, Jingjun Xu. Research Progress on Hyperdoped Silicon Photodetectors Fabricated by Femtosecond Laser[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(11): 111430.
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