飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器研究进展

进晓荣; 吴强; 黄松; 贾子熙; 宋冠廷; 周旭; 姚江宏; 许京军

doi:doi:10.3788/LOP57.111430

激光与光电子学进展, 2020, 57 (11): 111430, 网络出版: 2020-06-02

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Research Progress on Hyperdoped Silicon Photodetectors Fabricated by Femtosecond Laser

进晓荣吴强 ^*黄松贾子熙宋冠廷周旭姚江宏许京军

作者单位

南开大学弱光非线性光子学教育部重点实验室, 物理科学学院&泰达应用物理研究院, 天津 300071

补充材料

进晓荣, 吴强, 黄松, 贾子熙, 宋冠廷, 周旭, 姚江宏, 许京军. 飞秒激光过饱和掺杂硅基光电探测器研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(11): 111430. Xiaorong Jin, Qiang Wu, Song Huang, Zixi Jia, Guanting Song, Xu Zhou, Jianghong Yao, Jingjun Xu. Research Progress on Hyperdoped Silicon Photodetectors Fabricated by Femtosecond Laser[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(11): 111430.