In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As雪崩光电二极管的数值模拟研究 | 红外与激光工程 -- 中国光学期刊网

红外与激光工程, 2016, 45 (5): 0520005, 网络出版: 2016-06-12

In_0.53Ga_0.47As/In_0.52Al_0.48As雪崩光电二极管的数值模拟研究

Numerical simulation study on In_0.53Ga_0.47As/In_0.52Al_0.48As avalanche photodiode

李慧梅 ^*胡晓斌白霖李晓敏于海龙徐云宋国峰

作者单位

中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室, 北京 100083

雪崩光电二极管(APD) SACM结构暗电流增益图像应用 avalanche photodiode (APD) SACM structure dark current gain imaging application

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