光散射学报, 2016, 28 (3): 214, 网络出版: 2016-11-30
结合椭圆偏振光谱与傅里叶红外光谱的宽禁带半导体薄膜光学特性表征
Characterization of Optical Properties of Wide Band Gap Semiconductor Thin Film with the Combination of Ellipsometry and Infrared Spectrum
基本信息
| DOI: | 10.13883/j.issn1004-5929.201603004 |
| 中图分类号: | O433.3,O484.5 |
| 栏目: | 材料研究中的应用 |
| 项目基金: | 中山大学光电材料与技术国家重点实验室开放课题,国家自然科学基金(11474365,61377055,61176085)；广东高校国际科技合作创新平台项目(gjhz1103)；广西相对论天体物理重点实验室广西自然科学基金创新团队项目(2013GXNSFFA019001),国家自然科学基金(AE0520088) |
| 收稿日期: | 2015-06-15 |
| 修改稿日期: | 2015-09-21 |
| 网络出版日期: | 2016-11-30 |
| 通讯作者: | 谢灯 (xiedeng5@126.com) |
| 备注: | -- |
谢灯, 丘志仁, 万玲玉, TIN Chin-che, 梅霆, 冯哲川. 结合椭圆偏振光谱与傅里叶红外光谱的宽禁带半导体薄膜光学特性表征[J]. 光散射学报, 2016, 28(3): 214. XIE Deng, QIU Zhi-ren, WAN Ling-yu, TIN Chin-che, MEI Ting, FENG Zhe-chuan. Characterization of Optical Properties of Wide Band Gap Semiconductor Thin Film with the Combination of Ellipsometry and Infrared Spectrum[J]. The Journal of Light Scattering, 2016, 28(3): 214.
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