甲烷流量对8.5代非晶硅光伏组件P层材料结构和光学性质的影响 | 红外与毫米波学报 -- 中国光学期刊网

红外与毫米波学报, 2012, 31 (1): 5, 网络出版: 2012-02-13

甲烷流量对8.5代非晶硅光伏组件P层材料结构和光学性质的影响

Effect of CH₄ flow rate on the optical properties of Boron-doped a-SiC:H films

窦亚楠 ^1,2,*何悦 ²马晓光 ²乔琦 ^2,3陈肖静 ²王永谦 ²陈绍斌 ²褚君浩 ¹

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083

² 尚德太阳能电力有限公司，上海 201114

³ 江南大学，物联网工程学院，江苏无锡 214122

非晶碳化硅红外光谱均匀性甲烷流量 a-SiC:H infrared spectrum uniformity CH4 flow rate

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