红外与激光工程, 2018, 47 (3): 0321004, 网络出版: 2018-04-26
离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应
Annealing effect of the optical properties of tantalum oxide thin film prepared by ion beam sputtering
Ta2O5薄膜 热处理 光学常数 禁带宽度 微结构振动 Ta2O5 thin film annealing optical constants band gap microstructure vibration
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