应用激光, 2016, 36 (1): 96, 网络出版: 2016-03-28
激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用
Application of Laser Heterodyne Interferometer in the Roll Characteristics Measurement of Linear Displacement Stage
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TH707 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 沪江基金资助项目(项目编号: C14002) |
| 收稿日期: | 2015-12-11 |
| 修改稿日期: | 2016-01-20 |
| 网络出版日期: | 2016-03-28 |
| 通讯作者: | 柯有龙 (Airlone.K@outlook.com) |
| 备注: | -- |
柯有龙, 侯文玫, 句爱松, 杨卫, 罗佳林. 激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用[J]. 应用激光, 2016, 36(1): 96. Ke Youlong, Hou Wenmei, Ju Aisong, Yang Wei, Luo Jialin. Application of Laser Heterodyne Interferometer in the Roll Characteristics Measurement of Linear Displacement Stage[J]. APPLIED LASER, 2016, 36(1): 96.
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