激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用 | 应用激光 -- 中国光学期刊网

应用激光, 2016, 36 (1): 96, 网络出版: 2016-03-28

激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用

Application of Laser Heterodyne Interferometer in the Roll Characteristics Measurement of Linear Displacement Stage

柯有龙 ^*侯文玫句爱松杨卫罗佳林

作者单位

上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093

外差干涉滚转角误差对称光路滚珠丝杠 heterodyne interferometer roll angle error symmetry optical paths ball screw

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