北方工业大学机械与材料工程学院,北京 100144
提出了一种基于等效元件和相位补偿法的高精度任意波片相位延迟量和方位角同时测量的方法。在测量光路中的待测波片之前插入一个可旋转半波片,利用反射镜使测量光两次过该半波片和待测波片,相当于测量一个相位延迟量为待测波片两倍的等效波片,可以实现双倍分辨率检测。采用双频激光源和相位检测方式,旋转半波片补偿测量光相位,将测量光相对参考光的相位差变化先后调整为最大值和最小值,由二者之差即可得到任意待测波片的相位延迟量,同时根据最大值或最小值对应的半波片方位角即可确定待测波片的方位角。本方法所测量的波片相位延迟量从原理上避免了一般光强法所受到的光强波动的影响,以及许多方法所受到的双折射器件方位角定位精度的影响。系统采用双频外差干涉光路,具有共光路性质,稳定性高。测量系统结构简单、元件少,测量快捷。此外,由于测量光束两次通过待测波片的同一位置,因此所提方法还可以用于测量楔形结构的双折射器件。现有条件下的误差分析表明,相位延迟量的测量不确定度约为3.3',快轴方位角的测量不确定度优于5.4''。实验对比结果表明所提方法与其他方法测量结果的一致性很好。
测量 波片测量 相位延迟量 等效元件 相位补偿 双倍分辨率 外差干涉
浙江理工大学 信息科学与工程学院,浙江杭州310018
针对激光外差干涉仪测量过程中测量镜随被测对象旋转而导致的位移测量误差,提出了一种基于卡尔曼滤波的激光外差干涉位移测量补偿方法。根据测量镜转角和测量光束光斑位置变化对应关系,利用位置敏感探测器(PSD)和位置电压信号卡尔曼滤波方法测得降噪后的光斑位置变化,从而获得更为准确的转角测量结果,最后根据转角与位移的解耦数学模型利用测得的转角进行位移补偿。为验证滤波算法和位移补偿方法的可行性和有效性,搭建激光外差干涉测量实验装置,分别进行光斑位置稳定性测量实验、角度测量验证实验和激光外差干涉位移测量补偿实验。实验结果表明:经卡尔曼滤波降噪后系统装置测得的光斑位置抖动标准差从0.52 μm降至0.18 μm,测量的转角与索雷博六自由度转台的转角偏差在±1.38×10-4°内,对M-531.DD线性导轨200 mm量程内的位移和转角进行测量,将测得的转角进行位移补偿后,系统的位移测量结果与M-531.DD线性导轨位移的标准差从1.55 μm减小到0.29 μm。
激光外差干涉 位移测量 误差补偿 卡尔曼滤波 laser heterodyne interferometry displacement measurement error compensation Kalman filtering
1 上海理工大学健康科学与工程学院,上海 200093
2 上海理工大学医用光学仪器与设备教育部重点实验室,上海 200093
3 北京大学长三角光电科学研究院,江苏 南通 226010
4 上海理工大学光学仪器与系统教育部工程中心,上海 200093
光声信号的传统检测方法是基于超声技术,这样接触式的信号探测方式增加了交叉感染的风险,不利于临床应用。采用纯光学技术的光声成像可提升检测精度和临床舒适度,具有较强的临床应用价值。设计了采用调Q Nd∶YAG脉冲激光器作为激励源的光声信号激发系统,选用双频He-Ne激光器作为探测源采集光声信号,搭建的外差干涉系统产生携带光声信号特征的拍频信号,利用I/Q正交法解调出光声信号。首先通过超声换能器模拟振动信号验证系统性能,实验结果表明光声信号探测系统能较好地还原出超声振动信号,且与水浸探头相比,振动频率的相对测量误差只有0.04%,绝对差值为0.2 kHz。然后以碳棒和离体生物组织作为样品,利用短脉冲光激励诱导光声信号,采用本系统和超声探头进行信号探测,对比分析结果显示所搭建的外差系统在检测带宽内可以实现光声表面振动波的非接触、高精度探测。
生物光学 外差干涉 光声信号 I/Q正交法 非接触式探测
红外与激光工程
2023, 52(11): 20230134
1 中国科学院半导体研究所 光电系统实验室,北京 100083
2 中国科学院大学,北京 100049
激光麦克风是一种利用光学多普勒效应获取远场语音信息的技术,其语音质量受到探测系统自身特性、光探测路径以及目标物等多个方面的影响。为了从远距离声场下的目标物获取更高质量的语音信息,文中通过单频声激励实验获得了4种典型目标物(A4纸片、A4纸盒、瓦楞盒、塑料瓶)的声致振动频率响应,发现了其在频率上的非均匀性。在此基础上,提出了一种基于ResUnet和TFGAN网络的激光语音增强方法,其通过ResUnet网络预测去噪梅尔谱图,并利用TFGAN网络由预测的梅尔谱图恢复出激光语音的时域波形。然后,利用实验室自制的激光麦克风在4种目标物上进行了远距离语音采集实验,采用文中提出的方法对采集到的激光麦克风语音进行了处理,并与非线性函数谐波重构法、DNN+谐波重构法进行了比较。最后利用客观语音质量评估(PESQ)和时域分段信噪比(SNRseg)对处理后的激光语音进行了量化评估。实验结果表明,在4种目标物上采集到的激光语音,经过非线性函数谐波重构方法和DNN+谐波重构方法处理后,语音质量均无明显提升,其相应的PESQ和SNRseg分值无明显提高。而经过文中所提的ResUnet+TFGAN网络方法处理后,激光语音取得了更高的PESQ和SNRseg分值,语音质量明显提升。因此,文中提出的方法在激光麦克风应用中具有更好的激光语音增强效果。此外,由实验结果可知,此方法在频率响应一致性较差的目标物上,仍然可以较好地重建频谱,恢复出高质量的语音信息。
外差干涉 语音增强 神经网络 声致振动 heterodyne interference speech enhancement neural network acoustic vibration 红外与激光工程
2023, 52(10): 20230051
上海大学特种光纤与光接入网重点实验室,特种光纤与先进通信国际联合研究实验室,上海 200444
在通信波段研究了基于亚波长尺寸微纳光纤的光热光谱气体传感技术,利用锥腰直径为1 μm的微纳光纤代替传统的自由空间光气室和空芯光纤实现紧凑的全光纤结构,其引导的倏逝场被气体吸收后会激发光热效应。仿真结果表明,约25%的光波以倏逝场的形式沿光纤表面传播,可提供的光热效应强度约为空芯光纤的187倍。通过外差干涉法在微纳光纤提供的4 mm超短有效传感光程上实现了1512.24 nm处10-6级别氨气(NH3)检测。当使用的泵浦光功率为3.6 mW时,得到1σ噪声等效检测下限为39×10-6,30个泵浦调谐周期内探测信号的不稳定性小于0.5%。
光谱学 光热光谱 微纳光纤 外差干涉 光纤传感器 NH3检测 光学学报
2023, 43(16): 1623026
光学 精密工程
2023, 31(11): 1593
1 浙江理工大学纳米测量技术实验室,浙江 杭州 310018
2 中国计量科学研究院,北京 100029
3 中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
为了解决外差干涉相位测量中多通道采样信号间的串扰误差对相位测量精度的影响,提出了一种基于采样信号频谱分析的预补偿方法来实现信号串扰误差的补偿和消除。首先建立基于锁相放大的正交鉴相法的信号串扰误差理论模型,阐明了串扰系数、输入信号幅值比和串扰信号相位偏移对相位测量误差的影响;设计仿真实验验证了该误差模型和补偿方法的有效性;然后基于紧凑型FPGA开发平台设计了相位测量实验,结果表明该补偿方法能够有效消除信号串扰误差的影响,补偿后相位测量的最大误差从0.34°下降到0.01°;最后搭建了外差干涉仪并与高精度的压电位移平台进行比对,实验结果表明补偿后的信号处理系统能够满足外差干涉测量的应用需求。
测量 外差干涉 正交鉴相 信号串扰 频谱分析 位移测量 中国激光
2023, 50(10): 1004001
1 中北大学信息与通信工程学院, 山西 太原 030051
2 中北大学电子测试技术国家重点实验室, 山西 太原 030051
针对信号调制与传输特点, 设计搭建了一种由两个不同驱动频率声光调制器组成的外差干涉系统, 双路光强调制避免了由声光调制引起的衍射级次混叠和频移漂移等影响, 采用双路调制最后输出由两个+1级衍射光干涉形成的拍频信号, 消除了级间干扰; 同时系统良好的共线性和对称性, 极大地减小了外界环境噪声对测量精度的影响, 提高了检测精度。基于折射率改变引起的相位变化信息进行检测及处理, 通过测量不同百分比浓度的溶液, 并对系统的相位特性进行了研究, 提出一种溶液浓度检测的新方案, 并对激光漂移和调制强度对测量系统的影响进行了分析。实验结果表明, 该检测系统能够较好地通过对信号相位差改变信息的处理完成对溶液浓度的检测, 在0.1%~0.5%范围内, 最大相对误差约为8.0%, 为光外差干涉溶液浓度测量系统小型化设计和制造提供了参考。
相位调制 共线外差干涉 信号处理 溶液浓度 声光调制器 phase modulation collinear heterodyne interference signal processing solution concentration acousto-optic modulator