中国激光, 2016, 43 (11): 1101003, 网络出版: 2016-11-10
激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究
Research on Fabrication and Vertical Coupling of 45° Micromirror with Laser Stepped Ablation Method
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201643.1101003 |
| 中图分类号: | TN252 |
| 栏目: | 激光器件与激光物理 |
| 项目基金: | 上海市教委创新重点项目（14ZZ093）、上海市科技成果转化与产业化项目(16511104300) |
| 收稿日期: | 2016-05-28 |
| 修改稿日期: | 2016-07-27 |
| 网络出版日期: | 2016-11-10 |
| 通讯作者: | 邓传鲁 (chuanludeng@163.com) |
| 备注: | -- |
邓传鲁, 宋志强, 庞拂飞, 王建辉, 王廷云. 激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究[J]. 中国激光, 2016, 43(11): 1101003. Deng Chuanlu, Song Zhiqiang, Pang Fufei, Wang Jianhui, Wang Tingyun. Research on Fabrication and Vertical Coupling of 45° Micromirror with Laser Stepped Ablation Method[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(11): 1101003.
PDF全文
