激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究

邓传鲁; 宋志强; 庞拂飞; 王建辉; 王廷云

doi:doi:10.3788/cjl201643.1101003

中国激光, 2016, 43 (11): 1101003, 网络出版: 2016-11-10

激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究

Research on Fabrication and Vertical Coupling of 45° Micromirror with Laser Stepped Ablation Method

邓传鲁 ^1,2,*宋志强 ^1,2庞拂飞 ^1,2王建辉 ^1,2王廷云 ^1,2

作者单位

¹ 上海大学特种光纤与光接入网省部共建重点实验室, 上海 200072

² 上海大学通信与信息工程学院, 上海 200072

图 & 表

邓传鲁, 宋志强, 庞拂飞, 王建辉, 王廷云. 激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究[J]. 中国激光, 2016, 43(11): 1101003. Deng Chuanlu, Song Zhiqiang, Pang Fufei, Wang Jianhui, Wang Tingyun. Research on Fabrication and Vertical Coupling of 45° Micromirror with Laser Stepped Ablation Method[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(11): 1101003.