半导体光电, 2015, 36 (1): 20, 网络出版: 2015-06-25
ICPCVD-SiNx对GaN/AlGaN基紫外探测器的钝化效果的研究
Study on the ICPCVD-SiNx Passivation of InGaN Ultraviolet Detector
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN364.2 |
栏目: | 光电器件 |
项目基金: | 国家自然科学基金项目(61204134, 61106097). |
收稿日期: | 2014-04-21 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2015-06-25 |
通讯作者: | 刘秀娟 (blueskynju@163.com) |
备注: | -- |
刘秀娟, 张燕, 李向阳. ICPCVD-SiNx对GaN/AlGaN基紫外探测器的钝化效果的研究[J]. 半导体光电, 2015, 36(1): 20. LIU Xiujuan, ZHANG Yan, LI Xiangyang. Study on the ICPCVD-SiNx Passivation of InGaN Ultraviolet Detector[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2015, 36(1): 20.