中国激光, 2001, 28 (5): 455, 网络出版: 2006-08-10
用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪
Laser Diode Interferometer Used to Measure Displacements in Large Range with a Nanometer Accuracy
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TH 744.3 |
| 栏目: | 激光仪器 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(69978024)、中国科学院计划与上海市应用材料研究与发展基金资助项目。 |
| 收稿日期: | 2000-10-25 |
| 修改稿日期: | 2000-12-07 |
| 网络出版日期: | 2006-08-10 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
王学锋, 王向朝, 钱锋, 卢洪斌, 宋松, 步扬. 用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪[J]. 中国激光, 2001, 28(5): 455. 王学锋, 王向朝, 钱锋, 卢洪斌, 宋松, 步扬. Laser Diode Interferometer Used to Measure Displacements in Large Range with a Nanometer Accuracy[J]. Chinese Journal of Lasers, 2001, 28(5): 455.
PDF全文
