中国激光, 2001, 28 (5): 455, 网络出版: 2006-08-10
用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪
Laser Diode Interferometer Used to Measure Displacements in Large Range with a Nanometer Accuracy
纳米测量 光热调制 干涉仪 半导体激光器 光学检测 nanometer measurement photothermal modulation interferometer laser diode optical measurement
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