斜入射干涉检测大口径碳化硅平面反射镜 | 光学精密工程 -- 中国光学期刊网

光学精密工程, 2011, 19 (7): 1437, 网络出版: 2011-08-15

斜入射干涉检测大口径碳化硅平面反射镜

Measurement of large aperture SiC flat mirrors by oblique incidence interferometry

刘兆栋 ^1,*陈磊 ¹韩志刚 ¹严庆伟 ²朱日宏 ¹

作者单位

¹ 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏南京 210094

² 南京中科天文仪器有限公司, 江苏南京 210042

光学测量斜入射干涉仪 SiC平面反射镜 optical testing oblique incidence interferometer SiC flat mirror

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