中国激光, 2016, 43 (2): 0202001, 网络出版: 2016-01-25
高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究
Compound Cavity ArF Excimer Laser with High Efficiency
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201643.0202001 |
| 中图分类号: | TN248 |
| 栏目: | 激光物理 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(61405202)、北京市科技专项(Z141104004414069) |
| 收稿日期: | 2015-09-07 |
| 修改稿日期: | 2015-10-12 |
| 网络出版日期: | 2016-01-25 |
| 通讯作者: | 范元媛 (fyy@aoe.ac.cn) |
| 备注: | -- |
范元媛, 周翊, 刘广义, 宋兴亮, 单耀莹, 王倩, 赵江山. 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究[J]. 中国激光, 2016, 43(2): 0202001. Fan Yuanyuan, Zhou Yi, Liu Guangyi, Song Xingliang, Shan Yaoying, Wang Qian, Zhao Jiangshan. Compound Cavity ArF Excimer Laser with High Efficiency[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(2): 0202001.
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