高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

范元媛; 周翊; 刘广义; 宋兴亮; 单耀莹; 王倩; 赵江山

doi:doi:10.3788/cjl201643.0202001

中国激光, 2016, 43 (2): 0202001, 网络出版: 2016-01-25

高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

Compound Cavity ArF Excimer Laser with High Efficiency

范元媛 ^1,2,*周翊 ^1,2刘广义 ^1,2宋兴亮 ^1,2单耀莹 ^1,2王倩 ^1,2赵江山 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院光电研究院, 北京 100094

² 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094

补充材料

范元媛, 周翊, 刘广义, 宋兴亮, 单耀莹, 王倩, 赵江山. 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究[J]. 中国激光, 2016, 43(2): 0202001. Fan Yuanyuan, Zhou Yi, Liu Guangyi, Song Xingliang, Shan Yaoying, Wang Qian, Zhao Jiangshan. Compound Cavity ArF Excimer Laser with High Efficiency[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(2): 0202001.