光学学报, 2019, 39 (7): 0712005, 网络出版: 2019-07-16
基于总散射测量的表面质量检测新方法 
下载： 1062次
Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement
基本信息
| DOI: | 10.3788/AOS201939.0712005 |
| 中图分类号: | O439 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 四川省科技计划、天津市薄膜光学重点实验室开放基金课题、合肥知常光电科技有限公司超光滑表面无损检测安徽省重点实验室（CGHBMWSJC06）、 |
| 收稿日期: | 2019-01-14 |
| 修改稿日期: | 2019-03-11 |
| 网络出版日期: | 2019-07-16 |
| 通讯作者: | 张彬 (zhangbinff@sohu.com) |
| 备注: | -- |
黄聪, 张科鹏, 王翔, 孙年春, 张彬, 陈坚, 赵建华. 基于总散射测量的表面质量检测新方法[J]. 光学学报, 2019, 39(7): 0712005. Cong Huang, Kepeng Zhang, Xiang Wang, Nianchun Sun, Bin Zhang, Jian Chen, Jianhua Zhao. Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(7): 0712005.
PDF全文
