基于总散射测量的表面质量检测新方法 
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Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement
1 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
3 超光滑表面无损检测安徽省重点实验室, 合肥知常光电科技有限公司, 安徽 合肥 230031
图 & 表
图 1. 麻点或擦痕对散射的两种贡献方式
Fig. 1. Two contributions to scattering from dig or scratch
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图 2. 不同表面洁净度下的粒子分布与ARS。(a)粒子分布;(b) ARS
Fig. 2. Particle distribution and ARS with different surface cleanliness. (a) Particle distribution; (b) ARS
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图 3. 疵病的ARS。(a)不同类型疵病;(b)不同数量疵病
Fig. 3. ARS of defect. (a) Different defect types; (b) different defect numbers
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图 4. 不同级数疵病的ARS和TS。(a) ARS; (b) TS
Fig. 4. ARS and TS with different defect grade numbers. (a) ARS; (b) TS
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图 5. 疵病图像。(a) 1号元件;(b) 2号元件;(c) 3号元件;(d) 4号元件;(e) 5号元件;(f) 6号元件
Fig. 5. Defect images. (a) No. 1 component; (b) No. 2 component; (c) No. 3 component; (d) No. 4 component; (e) No. 5 component; (f) No. 6 component
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图 6. 实验结果与理论计算的对比
Fig. 6. Comparison between experimental result and theoretical calculation result
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表 1不同类型疵病的TS
Table1. TS with different defect types
| Defect type | Dig | Scratch 1 | Scratch 2 | Scratch 3 |
|---|
| TS /10-6 | 7.70 | 5.99 | 6.23 | 6.63 |
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表 2不同数量疵病的TS
Table2. TS with different defect numbers
| Defect number | B1 | B2 | B3 | B4 |
|---|
| TS /10-6 | 6.23 | 6.22 | 6.15 | 6.25 |
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表 3不同Gm下的表面疵病公差
Table3. Judgment of surface defect tolerance under different Gm
| /mm | 0.25 | 0.16 | 0.10 | 0.063 |
|---|
| SDT /mm | 3×0.25 | 7×0.16 | 18×0.10 | 48×0.063 |
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黄聪, 张科鹏, 王翔, 孙年春, 张彬, 陈坚, 赵建华. 基于总散射测量的表面质量检测新方法[J]. 光学学报, 2019, 39(7): 0712005. Cong Huang, Kepeng Zhang, Xiang Wang, Nianchun Sun, Bin Zhang, Jian Chen, Jianhua Zhao. Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(7): 0712005.
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