基于总散射测量的表面质量检测新方法下载： 1062次 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2019, 39 (7): 0712005, 网络出版: 2019-07-16

基于总散射测量的表面质量检测新方法下载： 1062次

Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement

黄聪 ¹张科鹏 ²王翔 ¹孙年春 ¹张彬 ^1,*陈坚 ³赵建华 ³

作者单位

¹ 四川大学电子信息学院, 四川成都 610064

² 中国科学院光电技术研究所, 四川成都 610209

³ 超光滑表面无损检测安徽省重点实验室, 合肥知常光电科技有限公司, 安徽合肥 230031

散射疵病检测表面疵病散射光疵病阈值 scattering defect inspection surface defect scattering light defect threshold

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