InAs/GaSbⅡ类超晶格长波红外探测器背面减薄技术研究

程雨; 鲍英豪; 肖钰; 李春领; 亢喆; 刘铭

doi:doi:10.3969/j.issn.1672-8785.2020.08.003

红外, 2020, 41 (8): 15, 网络出版: 2020-11-04

InAs/GaSbⅡ类超晶格长波红外探测器背面减薄技术研究

Study on Back Thinning Technologies of Long-wave InAs/GaSb Type-Ⅱ Superlattice Infrared Detectors

程雨 ^*鲍英豪肖钰李春领亢喆刘铭

作者单位

华北光电技术研究所,北京 100015

图 & 表

程雨, 鲍英豪, 肖钰, 李春领, 亢喆, 刘铭. InAs/GaSbⅡ类超晶格长波红外探测器背面减薄技术研究[J]. 红外, 2020, 41(8): 15. CHENG Yu, BAO Ying-hao, XIAO Yu, LI Chun-ling, KANG Zhe, LIU Ming. Study on Back Thinning Technologies of Long-wave InAs/GaSb Type-Ⅱ Superlattice Infrared Detectors[J]. INFRARED, 2020, 41(8): 15.