光电工程, 2012, 39 (11): 8, 网络出版: 2012-11-22
Linnik白光干涉仪自动对焦及光程差最小化
Automated Method of Focusing and Minimizing OPD in Linnik White Light Interferometry
基本信息
DOI: | 10.3969/j.issn.1003-501x.2012.11.002 |
中图分类号: | TP273 |
栏目: | 光电测量与检测 |
项目基金: | 国家青年基金资助 (50905053) |
收稿日期: | 2012-05-02 |
修改稿日期: | 2012-06-30 |
网络出版日期: | 2012-11-22 |
通讯作者: | 李勇 (liyong_ly123@163.com) |
备注: | -- |
李勇, 吴奎, 卢荣胜, 董敬涛. Linnik白光干涉仪自动对焦及光程差最小化[J]. 光电工程, 2012, 39(11): 8. LI Yong, WU Kui, LU Rong-sheng, DONG Jing-tao. Automated Method of Focusing and Minimizing OPD in Linnik White Light Interferometry[J]. Opto-Electronic Engineering, 2012, 39(11): 8.