强激光与粒子束, 2013, 25 (9): 2317, 网络出版: 2013-08-28
溅射功率对碳化硼薄膜组分与力学性能的影响
Influence of sputtering power on components and mechanical properties of boron carbide films
基本信息
DOI: | 10.3788/hplpb20132509.2317 |
中图分类号: | O484 |
栏目: | ICF与激光等离子体 |
项目基金: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室基金项目(9140c680501007) |
收稿日期: | 2012-12-20 |
修改稿日期: | 2013-04-23 |
网络出版日期: | 2013-08-28 |
通讯作者: | 张玲 (zhangling860817@163.com) |
备注: | -- |
张玲, 何智兵, 李俊, 许华, 谌家军. 溅射功率对碳化硼薄膜组分与力学性能的影响[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25(9): 2317. Zhang Ling, He Zhibing, Li Jun, Xu Hua, Chen Jiajun. Influence of sputtering power on components and mechanical properties of boron carbide films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25(9): 2317.