强激光与粒子束, 2013, 25 (9): 2317, 网络出版: 2013-08-28   

溅射功率对碳化硼薄膜组分与力学性能的影响

Influence of sputtering power on components and mechanical properties of boron carbide films
作者单位
1 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
2 西华师范大学 物理与电子信息学院, 四川 南充 637002
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张玲, 何智兵, 李俊, 许华, 谌家军. 溅射功率对碳化硼薄膜组分与力学性能的影响[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25(9): 2317. Zhang Ling, He Zhibing, Li Jun, Xu Hua, Chen Jiajun. Influence of sputtering power on components and mechanical properties of boron carbide films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25(9): 2317.

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