光谱学与光谱分析, 2017, 37 (3): 946, 网络出版: 2017-06-20
光栅刻划机直线度误差补偿的研究
Research on Straightness Error Compensation of Grating Ruling Machine
基本信息
DOI: | 10.3964/j.issn.1000-0593(2017)03-0946-06 |
中图分类号: | O433.4 |
栏目: | |
项目基金: | 国家自然科学基金项目(61378060, 61205156)和上海市科学仪器重点项目(14142200902)资助 |
收稿日期: | 2016-03-18 |
修改稿日期: | 2016-08-02 |
网络出版日期: | 2017-06-20 |
通讯作者: | 黄元申 (hyshyq@sina.com) |
备注: | -- |
黄元申, 董成成, 黄运柏, 盛斌, 周红艳, 孙乐, 杨海马, 张大伟. 光栅刻划机直线度误差补偿的研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2017, 37(3): 946. HUANG Yuan-shen, DONG Cheng-cheng, HUANG Yun-bai, SHENG Bin, ZHOU Hong-yan, SUN Le, YANG Hai-ma, ZHANG Da-wei. Research on Straightness Error Compensation of Grating Ruling Machine[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 37(3): 946.