光栅刻划机直线度误差补偿的研究

黄元申; 董成成; 黄运柏; 盛斌; 周红艳; 孙乐; 杨海马; 张大伟

doi:doi:10.3964/j.issn.1000-0593(2017)03-0946-06

光谱学与光谱分析, 2017, 37 (3): 946, 网络出版: 2017-06-20

光栅刻划机直线度误差补偿的研究

Research on Straightness Error Compensation of Grating Ruling Machine

黄元申 ^1,2,*董成成 ^1,2黄运柏 ^1,2盛斌 ^1,2周红艳 ^1,2孙乐 ^1,2杨海马 ^1,2张大伟 ^1,2

作者单位

¹ 教育部光学仪器与系统工程研究中心, 上海 200093

² 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093

图 & 表

黄元申, 董成成, 黄运柏, 盛斌, 周红艳, 孙乐, 杨海马, 张大伟. 光栅刻划机直线度误差补偿的研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2017, 37(3): 946. HUANG Yuan-shen, DONG Cheng-cheng, HUANG Yun-bai, SHENG Bin, ZHOU Hong-yan, SUN Le, YANG Hai-ma, ZHANG Da-wei. Research on Straightness Error Compensation of Grating Ruling Machine[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 37(3): 946.