光栅刻划机直线度误差补偿的研究

黄元申; 董成成; 黄运柏; 盛斌; 周红艳; 孙乐; 杨海马; 张大伟

doi:doi:10.3964/j.issn.1000-0593(2017)03-0946-06

光谱学与光谱分析, 2017, 37 (3): 946, 网络出版: 2017-06-20

光栅刻划机直线度误差补偿的研究

Research on Straightness Error Compensation of Grating Ruling Machine

黄元申 ^1,2,*董成成 ^1,2黄运柏 ^1,2盛斌 ^1,2周红艳 ^1,2孙乐 ^1,2杨海马 ^1,2张大伟 ^1,2

作者单位

¹ 教育部光学仪器与系统工程研究中心, 上海 200093

² 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093

引用该论文

黄元申, 董成成, 黄运柏, 盛斌, 周红艳, 孙乐, 杨海马, 张大伟. 光栅刻划机直线度误差补偿的研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2017, 37(3): 946.

HUANG Yuan-shen, DONG Cheng-cheng, HUANG Yun-bai, SHENG Bin, ZHOU Hong-yan, SUN Le, YANG Hai-ma, ZHANG Da-wei. Research on Straightness Error Compensation of Grating Ruling Machine[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 37(3): 946.

参考文献

[1] Harrison G R, Archer J E, Camus J. JOSA, 1952, 42(10): 706.

[2] ZHANG Bao-qing, SHI Guo-quan, SHI Guang-feng, et al（张宝庆, 史国权, 石广丰, 等）. Optics and Precision Engineering(光学精密工程), 2013, 21(7): 1666.

[3] TANG Yu-guo, SONG Nan, Bayanheshig, et al（唐玉国, 宋楠, 巴音贺希格, 等）. Optics and Precision Engineering（光学精密工程）, 2010, 18(9): 1989.

[4] KONG Peng, TANG Yu-guo, Bayanheshig, et al(孔鹏, 唐玉国, 巴音贺希格, 等). Acta Optica Sinica(光学学报), 2013, 33(1): 0105001.

[5] Liu H, Huang Y, Li B, et al. Optical Instruments, 2013, 3: 10.

[6] XIE Pin, NI Zheng-ji, HUANG Yuan-shen, et al(谢品, 倪争技, 黄元申, 等). Laser Journal(激光杂志), 2009, 2: 1.

[7] LI Xiao-tian, YU Hai-li, QI Xiang-dong, et al(李晓天, 于海利, 齐向东, 等). Chinese Journal of Lasers(中国激光), 2014, 41(6): 608001.

[8] Kita T, Harada T. Applied Optics, 1992, 31(10): 1399.

[9] WANG Qi, ZHENG Yan-chang, QIU Ke-qiang, et al(王琦, 郑衍畅, 邱克强, 等). Acta Optica Sinica(光学学报), 2014, 34(9).

[10] Schroeder D J, Hilliard R L. Applied Optics, 1980, 19(16): 2833.

[11] LI Xiao-tian, Bayanheshig, QI Xiang-dong, et al(李晓天, 巴音贺希格, 齐向东, 等). Chinese J Lasers(中国激光), 2013, 40(3): 0308009.

[12] DING Wei-tao, HUANG Yuan-shen, ZHANG Da-wei, et al(丁卫涛, 黄元申, 张大伟, 等). Opto-Electronic Engineering(光电工程), 2013, 40(9): 68.

[13] ZHU Shao-ji, ZOU Hai-xin, BAO Xue-cheng, et al(祝绍箕, 邹海兴, 包学诚, 等). Diffraction Gratings(衍射光栅). Beijing: China Machine Press(机械工业出版社), 1986.

[14] HUANG Yuan-shen, HUANG Yun-bai, YANG Hai-ma, et al(黄元申, 黄运柏, 杨海马, 等). Acta Optica Sinica(光学学报), 2015, (5): 88.

[15] LI Ting, HUANG Yuan-shen, XU Bang-lian, et al(李亭, 黄元申, 徐邦联, 等). Spectroscopy and Spectral Analysis（光谱学与光谱分析）, 2013, 33(7): 1997.

黄元申, 董成成, 黄运柏, 盛斌, 周红艳, 孙乐, 杨海马, 张大伟. 光栅刻划机直线度误差补偿的研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2017, 37(3): 946. HUANG Yuan-shen, DONG Cheng-cheng, HUANG Yun-bai, SHENG Bin, ZHOU Hong-yan, SUN Le, YANG Hai-ma, ZHANG Da-wei. Research on Straightness Error Compensation of Grating Ruling Machine[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 37(3): 946.

光栅刻划机直线度误差补偿的研究

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

光栅刻划机直线度误差补偿的研究

相关论文

相关资讯

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索