光学学报, 2018, 38 (7): 0731002, 网络出版: 2018-07-16
沉积工艺对YbF3薄膜可靠性的影响
Influence of Deposition Process on Reliability of YbF3 Thin Films
基本信息
DOI: | 10.3788/aos201838.0731002 |
中图分类号: | O484.4 |
栏目: | 薄膜 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2018-01-17 |
修改稿日期: | 2018-02-27 |
网络出版日期: | 2018-07-16 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
冯毅东, 于天燕, 刘定权. 沉积工艺对YbF3薄膜可靠性的影响[J]. 光学学报, 2018, 38(7): 0731002. 冯毅东, 于天燕, 刘定权. Influence of Deposition Process on Reliability of YbF3 Thin Films[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(7): 0731002.